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詳細盤點潔凈無塵室的基本知識

更新時間:2021-11-16      點擊次數(shù):2948
 
  潔凈無塵室亦稱為無塵室,潔凈室或無塵車間。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面,無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
 
  潔凈無塵室的基本常識:
 
  一、無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計建成的無塵潔凈房間。
 
  二、無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
 
  三、無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則:禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一,是控制帶塵的最好凈化設(shè)備之一,它可以最大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)域,達到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。
 
  四,無塵潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
 
  五.每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的*。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*,這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
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